Das Institut für Mikroelektronik und Mikrosensorik forscht in den Bereichen Sensorik zur Überwachung von Fluiden, Mikrosysteme und Hochfrequenzsensorik. Konkrete Anwendungen betreffen beispielsweise Zustandsüberwachung von Flüssigkeiten (Condition Monitoring) sowie mikrofluidische Systeme wie Lab on a Chip. Die Forschungsaktivitätgen beziehen sich dabei auf die grundlegende physikalische Wechselwirkung im Sensorbauelement, den Entwurf und die Realisierung der Sensorelemente sowie deren Auslesung (Elektronik und Algorithmen).

In der Lehre ist das Institut in der universitären Grundlagenvermittlung im Bereich Elektrotechnik und Elektronik sowie in vertiefenden Gebieten im Bereich der Mikrosensorik und Mikrosystemtechnik aktiv.

Ausstattung

• Reinraum (Lithographie, Plasmareaktor, Aufdampfanlage,…)

• Elektronik/Sensorik Labor (Rheometer, Klimakammer, Netzwerkanalysatoren,…)

Referenzprojekte

• Advanced Mechatronic Sensors and Measurement Systems (K2-Zentrum ACCM)

• Microsensors and Sensor Systems (K2-Zentrum ACCM)

• Process Analytical Chemistry (K-Projekt)

• Micromachined Viscosity Sensors (FWF Translational)

• Dynamic capillary systems towards disposable fluid probes (FWF)

• Mikrosensor zur Viskositäts- und Dichtemessung (PRIZE Projekt)

• Komponenten für die Infrarot-Sensorik (FFG)

Stand: 07.11.2014