Das Forschungszentrum Mikrotechnik der FH Vorarlberg beschäftigt sich mit der Entwicklung von mikrotechnischen Fertigungsverfahren und Komponenten von Mikrosystemen.

Folgende Verfahren stehen zur Verfügung:

• Optische-Lithographie:
• UV-Lithographie mit dicken Lackschichten (z.B. SU8) und DUV-Lithographie (193 nm Lichtquelle und Maskaligner für hochauflösende Strukturen)
• numerische Simulation von Proximity- und Kontaktlithographie
• Plasmaätzen (RIE von Si und Dielektrika)
• Mikrogalvanik mit Ni und Cu
• Vakuumbeschichtung von Wafern und anderen planaren Substraten mittels Sputtering
• Laserbearbeitung mit ultrakurz gepulsten (300 fs) Festkörper- und Excimerlasern (193 nm)
• Thermische Oxidation von kristallinen Substraten oder polykristallinen Schichten aus Silizium
• Analytik: Rasterelektronenmikroskopie, Elementbestimmung mit EDX und Probenpräparation
• Design und Simulation von integriert-optischen Komponenten

Die aufgeführten Verfahren stehen auch als Dienstleistung für externe F&E-Partner zur Verfügung.

Ausstattung

• Lithographie:

• EVG 101 Resist Processing System (Belacker, 2 Hotplates, Sprühentwickler)

• Süss MA6 / BA6 Mask- und Bondaligner mit 365 und 193 nm Lichtquelle

• verschiedene Öfen und Hotplates

• Laserablation:

• Laserbearbeitungsanlage: microSTRUCTvario von 3DMICROMAC

• Excimerlaser: Lambda Physik LPF 220 für 193 nm

• Femtosekundenlaser: Spirit von High Q Laser / Newport

• Ramgraber Galvanikanlagen für Ni und Cu

• Sputteranlage:

• Oerlikon LLS EVO

• Ätzen:

• Plasmaätzanlage Adixen AMS 100 DSE

• Nassätzbank mit 4 Ätzbecken

• Nassätzbank mit 4 Ätzbecken

• Thermische Oxidation

• Programmierbarer Diffusionsofen der Fa. ATV Technologie GmbH: Typ PEO 604

• Analytik:

• Rasterelektronenmikroskop: JEOL JSM-7100F

• Röntgenfluoreszenz: Fischerscope X-RAY XAN

• Weißlichtinterferometrie: VEECO Wyko NT1100

• Probenpräparation:

• Manuelle Nasstrennschleifmaschine: Struers Labotom-3

• Automatische Warmeinbettpresse: Struers LaboPress-3

• Schleif- und Poliermaschine: Struers LaboPol-5

• Läpp- und Poliermaschine: Logitech PM5

• Linear Precision Saw: Buehler Isomet 4000

Referenzprojekte

• Josef-Ressellabor zu „Materialbearbeitung mit ultrakurz gepulsten Laserquellen“ (CDG)

• Projekte zur Herstellung von metallischen Mikrospulen für RFID „POLYHYBRID“ und „Minitel“ (EFRE)

• Projekt zur Simulation von Lithographieprozessen mit Maskalignern „MALS“ (Bayrische Forschungsstiftung)

Stand: 07.11.2014