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Forschungszentrum Mikrotechnik

Fachhochschule Vorarlberg

Das Forschungszentrum Mikrotechnik der FH Vorarlberg beschäftigt sich mit der Entwicklung von mikrotechnischen Fertigungsverfahren und Komponenten von Mikrosystemen.

Folgende Verfahren stehen zur Verfügung:

  • Optische-Lithographie:
  • UV-Lithographie mit dicken Lackschichten (z.B. SU8) und DUV-Lithographie (193 nm Lichtquelle und Maskaligner für hochauflösende Strukturen)
  • numerische Simulation von Proximity- und Kontaktlithographie
  • Plasmaätzen (RIE von Si und Dielektrika)
  • Mikrogalvanik mit Ni und Cu
  • Vakuumbeschichtung von Wafern und anderen planaren Substraten mittels Sputtering
  • Laserbearbeitung mit ultrakurz gepulsten (300 fs) Festkörper- und Excimerlasern (193 nm)
  • Thermische Oxidation von kristallinen Substraten oder polykristallinen Schichten aus Silizium
  • Analytik: Rasterelektronenmikroskopie, Elementbestimmung mit EDX und Probenpräparation
  • Design und Simulation von integriert-optischen Komponenten

Die aufgeführten Verfahren stehen auch als Dienstleistung für externe F&E-Partner zur Verfügung.

Ausstattung

  • Lithographie:

  • EVG 101 Resist Processing System (Belacker, 2 Hotplates, Sprühentwickler)

  • Süss MA6 / BA6 Mask- und Bondaligner mit 365 und 193 nm Lichtquelle

  • verschiedene Öfen und Hotplates

  • Laserablation:

  • Laserbearbeitungsanlage: microSTRUCTvario von 3DMICROMAC

  • Excimerlaser: Lambda Physik LPF 220 für 193 nm

  • Femtosekundenlaser: Spirit von High Q Laser / Newport

  • Ramgraber Galvanikanlagen für Ni und Cu

  • Sputteranlage:

  • Oerlikon LLS EVO

  • Ätzen:

  • Plasmaätzanlage Adixen AMS 100 DSE

  • Nassätzbank mit 4 Ätzbecken

  • Nassätzbank mit 4 Ätzbecken

  • Thermische Oxidation

  • Programmierbarer Diffusionsofen der Fa. ATV Technologie GmbH: Typ PEO 604

  • Analytik:

  • Rasterelektronenmikroskop: JEOL JSM-7100F

  • Röntgenfluoreszenz: Fischerscope X-RAY XAN

  • Weißlichtinterferometrie: VEECO Wyko NT1100

  • Probenpräparation:

  • Manuelle Nasstrennschleifmaschine: Struers Labotom-3

  • Automatische Warmeinbettpresse: Struers LaboPress-3

  • Schleif- und Poliermaschine: Struers LaboPol-5

  • Läpp- und Poliermaschine: Logitech PM5

  • Linear Precision Saw: Buehler Isomet 4000

Referenzprojekte

  • Josef-Ressellabor zu „Materialbearbeitung mit ultrakurz gepulsten Laserquellen“ (CDG)

  • Projekte zur Herstellung von metallischen Mikrospulen für RFID „POLYHYBRID“ und „Minitel“ (EFRE)

  • Projekt zur Simulation von Lithographieprozessen mit Maskalignern „MALS“ (Bayrische Forschungsstiftung)

Stand: 07.11.2014